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計測機器部

水銀プローバ

Four Dimensions, Inc.

 アメリカFour Dimensions社の製品です。

 米国サイトはこちらから



CVmapシリーズ



CVmap

 再現性、安全性に非常に優れた水銀プローブ方式を用いたCV/IV測定システムです。

 Si、化合物、SOI、SiC、バルクウェハといった様々なタイプのウェハ特性を測定できます。ユーザが最大49箇所の測定サイトを指定し、C-V、I-V特性、TDDB、Vbd、Qbdの酸化膜破壊評価、Dit、ドーピング濃度、酸化膜厚、Low-k、High-k等のマッピング測定が可能なトータルシステムです。
CVmap3092A



CVmap3093ac

 CVmap3093Aの C to C (Cassette to Cassette)自動搬送に対応したモデルです。

 2点からのプローブ方式を用いたC-V、I-V測定器です。ウェハは6、8、12インチのサイズに対応し,ウェハ全面を任意サイトで測定することができます。等高線・3Dマップも作成できます。
CVmap3093AC



CV92M マニュアルシリーズ



CVmap

 CVmap92Aから内部測定機能と自動マッピングソフトウェアを取り除いた、手動操作に特化したモデルです。

 試料台の移動や水銀プローブのコンタクト操作は前面パネルのボタンで行います。試料台はモーターで動作する電動式で、ウェハサイズは1~8インチに対応しています。外部計測器と組み合わせてCV測定、IV測定ができます(測定には外部計測器が別途必要です)。オプションとして計測・解析用のソフトウェアを取り揃えています。
CV92M

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