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計測機器部

各種プローバ



簡易シールドボックスプローバ TBシリーズ



hoge

 省スペースで各種の計測目的に適したコストパフォーマンスに優れたモデルです。

 コンパクトなシールドボックスの中には試料台、マイクロポジショナ、プローブ二ードル、信号用ケーブル、顕微鏡、除振台を標準装備しています。プローブに必要な構成品があらかじめ含まれていますので、新たにプロービング環境を構築する場合に比べて初期導入費用が安価で済みます。コンパクトサイズのため、様々な用途、省設置スペースでの使用が可能です。ホットチャック、各種先端径・材質のプローブなどのオプション品も豊富に用意していますので、プローブによる電気測定が初めての方から経験者の方まで幅広くご使用いただけるコストパフォーマンスに優れたプロービングシステムです。
TB-4



シールディングプローバ SPシリーズ



SP

 設置環境に影響されずに、1/f ノイズや微少電流の測定をサポートします。

 独自のコンパクトなシールド構造により、パッケージ状態のデバイスと同レベルでウェハを測定する環境を提供します。システムノイズフロアレベルが低いため、出力ノイズが非常に小さいデバイスの測定にも対応可能です。微小電流測定、微小電圧測定、Quasi-Static C-V測定といった測定で安定した計測環境を実現できます。SPシリーズは最大300mmウェハまで対応可能です。
SP-8



高温真空プローバ



高温真空

 高温環境での計測に対応したモデルです。

 真空チャンバーの中にヒーターユニットを持った試料台を設置し、チャンバー内を真空雰囲気にすることで設置環境に影響を与えることなく、高温で試料の計測を行うことができます。

 オリンパスSZX-7搭載時
・サイズ:W:D:H 900×850×1110(1407)㎜



真空プローバ



真空

 脱酸素雰囲気での計測に対応したモデルです。

 真空チャンバーの中を真空または不活性ガス雰囲気の状態にすることで脱酸素雰囲気で試料の計測を行うことができます。

・サイズ:W:D:H 596×484×195(457)㎜
       上部扉開放時



低温プローバ



低温

 低温での計測に対応したモデルです。

冷凍部は可動部品が全くないパルス管冷凍機を使用していますので、低温で結露なく、低振動な計測に適しています。

 オリンパスSZX-7搭載時
・サイズ:W:D:H 900×850×943(1316)㎜



極低温プローバ



極低温

 極低温領域での計測に対応したモデルです。

 冷凍方式は液体ヘリウム連続フロー型のため、冷凍機を用いた冷却方式に比べて機械的振動がない分、低振動な計測に適しています。

 トランスファロッド含む顕微鏡搭載時
・サイズ:W:D:H 1250(1534)×700×1140(1400)㎜



グローブボックス用プローバ GBシリーズ



GB

 グローブボックスなど外気を遮断した雰囲気中での使用に最適なプローバです。

試料台とポジショナはコンパクトな作業ベース上に配置していますので、省スペースでの設置が可能です。


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