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計測機器部

マニュアルプローバ



OYMシリーズ



OYM-430

 高倍率顕微鏡を搭載したハイグレードモデルです。

 重厚性のあるベース部さらに、耐荷重性に優れたポジショナステージの装備により、数ミクロンオーダ、サブミクロンといった微細な回路に対して、高精度かつ、安定したプロービングを可能にします。X-Yステージ、ウエハサンプル台はグレードアップされ、さらに顕微鏡マウントは、X-Y稼動とクイックリフトの採用でセッティング、ポジショニングが簡単に行えます。
OYM-430

OYM-401

 使いやすさを最優先し、操作部がシンプルなベーシックモデルです。

 主にICのパッドを対象にしたプロービングに適した、実体顕微鏡をセットアップしたモデルです。標準で8インチストロークのX-Yステージを装備し、オプションとしてプローブカードホルダ、ホットチャックといった各装備の設置が可能です。
OYM-401

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