再現性、安全性に非常に優れた水銀プローブ方式を用いたCV/IV測定システムです。

　Si、化合物、SOI、SiC、バルクウェハといった様々なタイプのウェハ特性を測定できます。ユーザが最大49箇所の測定サイトを指定し、C-V、I-V特性、TDDB、Vbd、Qbdの酸化膜破壊評価、Dit、ドーピング濃度、酸化膜厚、Low-k、High-k等のマッピング測定が可能なトータルシステムです。

　CVmap3093Aの C to C (Cassette to Cassette)自動搬送に対応したモデルです。

　2点からのプローブ方式を用いたC-V、I-V測定器です。ウェハは6、8、12インチのサイズに対応し,ウェハ全面を任意サイトで測定することができます｡等高線・3Dマップも作成できます。

　CVmap92Aから内部測定機能と自動マッピングソフトウェアを取り除いた、手動操作に特化したモデルです。

　試料台の移動や水銀プローブのコンタクト操作は前面パネルのボタンで行います。試料台はモーターで動作する電動式で、ウェハサイズは1~8インチに対応しています。外部計測器と組み合わせてCV測定、IV測定ができます(測定には外部計測器が別途必要です）。オプションとして計測・解析用のソフトウェアを取り揃えています。