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計測機器部

ポジショナ



マニュアルポジショナ



OYM-90
OYM-90

各種機器との組み合わせが可能で、150gの軽量ボディかつ、コンパクトなモデルです。

・X-Y-Zストローク:各10㎜
・送り量:500μm/回転
・サイズ:39~44×75~86×44㎜



OYM-130
OYM-130(R)、131(L)

ICのパッドから数ミクロンオーダの回路に至るまで幅広いプロービングに対応できる汎用モデルです。

・X-Y-Zストローク:各30-15-18㎜
・送り量:750μm/回転
・サイズ:49~52×89~120×80㎜



OYM-170
OYM-170(R)、171(L)

ステンレススチールを素材として送り精度を追求し、重厚感のある本体により、サブミクロンパターンのプロービングをサポートするハイグレードモデルです。

・X-Y-Zストローク:各6.5㎜
・送り量:250μm/回転
・サイズ:79~90×138~131×72×86㎜



WAVE-100
WAVE-100(L)、200(R)

WAVE-100/200は高周波デバイスのプロービングをサポートする5軸(X, Y, Z, プラナリティ調整、シータ調整)マニピュレータです。マニピュレータの固定は、バキューム式、マグネット式いずれも対応可能です。

・X、Y、Z、プラナリティ、シータ
・X-Y-Zストローク:各12.5㎜
・サイズ:L120×W122×H157㎜(マイクロメータ含む)

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