OYM-90 |
各種機器との組み合わせが可能で、150gの軽量ボディかつ、コンパクトなモデルです。 ・X-Y-Zストローク:各10㎜ |
OYM-130(R)、131(L) |
ICのパッドから数ミクロンオーダの回路に至るまで幅広いプロービングに対応できる汎用モデルです。 ・X-Y-Zストローク:各30-15-18㎜ |
OYM-170(R)、171(L) |
ステンレススチールを素材として送り精度を追求し、重厚感のある本体により、サブミクロンパターンのプロービングをサポートするハイグレードモデルです。 ・X-Y-Zストローク:各6.5㎜ |
WAVE-100(L)、200(R) |
WAVE-100/200は高周波デバイスのプロービングをサポートする5軸(X, Y, Z, プラナリティ調整、シータ調整)マニピュレータです。マニピュレータの固定は、バキューム式、マグネット式いずれも対応可能です。 ・X、Y、Z、プラナリティ、シータ |